旋片式真空泵泵内偏心安装的转子与定子固定面相切，两个（或以上）旋片在转子槽内滑动（通常为径向）并与定子内壁相接触，将泵腔分为几个可变容积的一种旋转变容积真空泵。旋片与泵腔之间的间隙由润滑油密封。
抽吸介质截留在泵腔内，转子旋转腔室容积不断减小，抽吸介质经过压缩后排放。

先进的油雾分离器有效地分离润滑油与抽吸介质，确保润滑油的有效循环利用。